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GSL-1200X双温区卧式开启式管式炉
管式炉    浏览:2543    日期:2014/10/18    <<Back
GSL-1200X双温区卧式开启式管式炉
温区:    单温区电炉    
温度:    室温-1100℃        室温-1400℃    

  GSL-1200X双温区管式电炉是一个特殊的双管CVD系统,专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉子实现快速加热和冷却。

 
特点: 
1.双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.

技术参数
炉体结构 
高纯 Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性.
内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.
密封法兰系统全不锈钢制作。
电源 电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
加热温度 
最高温度: 1100°C
连续温度: 1000°C
加热区 
加热区长度: 440mm
恒温区长度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
选择:  
双温区炉可获得t 240mm 的恒温区
 
 
加热和冷却速度 最快的加热和冷却速度跟工作温度有关, 
( 在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度 )


加热 冷却
石英管 外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
内管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法兰 
一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
炉子底部装有一对滑轨
炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。
为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。
为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入 样品所在的位置。
    
极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)  10^-5 torr (分子泵)
可选郑州科晶公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

温控仪 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。
控温精度: +/-1°C
混气系统 4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.
MFC 1范围:  0~100 sccm
MFC 2范围:  0~200 sccm
MFC 3范围:  0~200 sccm
MFC 4范围:  0~500 sccm
气路: 4 路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
一个混气罐.
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
真空泵安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr.
真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .
数字真空表安装在一端的法兰上.

选择: 可以配分子泵,真空度达 10-5 Torr    

尺寸(mm) 炉体: 550 x 380 x 520
移动架: 600x600x597
净重 300 lb
保修期 一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈,和加热元件等不在保修范围内)
质量认证:

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